气浮隔振光学平台

采用空气伺服系统,自动调整水平,把系统对微振的响应反馈到系统中,改变隔振特性,提高隔振效果。

气浮隔振

产品概述

AT-1200 气浮隔振光学平台,采用空气伺服系统自动调平,二层膜片气囊隔离配合高阻尼小孔,实现主动气浮隔振。

技术参数

台面铁磁不锈钢/天然大理石
隔振方式主动气浮
固有频率垂直1.2Hz~1.8Hz, 水平1.2Hz~1.8Hz
隔振效率>95%@2Hz
气源要求0.2-0.6MPa
调平方式自动
平面度< 0.05mm/m²
表面粗糙度< 0.8μm

产品特点

  • 自动平衡系统采用空气伺服系统,自动调整水平
  • 在超载偏重的实验条件下,瞬间达到初始平衡状态
  • 进口静音空压机气源,噪声低(小于65分贝)

应用领域

适用于振动频率要求高的实验场所,如电子显微镜、纳米加工、量子计算等。