精密运动控制解决方案

超高真空 · 高低温 · 纳米级定位

1×10⁻⁸Pa
超高真空度
-196~190℃
工作温度范围
1μm
直线定位精度
0.001°
旋转分辨率

产品中心

三大核心产品线,覆盖真空精密运动控制全场景

真空位移台产品

真空产品

手动位移台、电动位移台,满足超高真空环境下的精密定位需求,广泛应用于同步辐射、半导体等领域。

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超高真空电机产品

真空电机

超高真空步进电机、伺服电机,适用于1×10⁸Pa真空环境,耐高低温,支持定制化多轴运动平台。

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隔振光学平台产品

光学平台

阻尼隔振光学平台、气浮隔振光学平台,有效隔离环境振动,为精密光学实验提供稳定平台。

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关于元一科技

元一科技(北京)有限公司是一家专注于超高真空精密运动控制系统研发与制造的高科技企业。公司核心产品涵盖真空位移台、超高真空电机、隔振光学平台三大系列。

产品广泛应用于半导体制造、同步辐射光源、生物医疗、航空航天、核工业及前沿科学研究等领域,为客户提供从标准产品到定制化解决方案的全方位服务。

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