项目背景

某国家级同步辐射装置需要为光束线站配备超高真空样品定位系统，要求真空度达到1×10¹⁰mbar，定位精度±0.5μm，满足X射线衍射实验的高精度需求。

解决方案

元一科技（北京）有限公司为该客户提供了定制化的超高真空位移台解决方案，包括超高真空手动位移台（行程50mm，分辨率1μm）、超高真空电动位移台（行程25mm，闭环控制）、多轴样品调整台（五自由度精密调节）以及配套真空馈通和控制系统。

项目成果

该系统成功应用于同步辐射光束线站，满足了X射线衍射实验的高精度定位需求，获得了客户的高度评价。