项目背景

某半导体检测设备制造商需要为其新一代晶圆检测系统配备精密运动平台，要求在真空环境下实现晶圆的高精度自动定位与检测，重复精度±1μm。

解决方案

元一科技（北京）有限公司为其定制了多轴真空运动平台，采用伺服电机驱动和全闭环控制，配合高精度光栅尺反馈，实现了±1μm的重复定位精度。

项目成果

该平台已成功应用于多条半导体生产线，大幅提升了检测效率和良率。